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LU 系列自動供液系統

LU 系列自動供液系統

所屬分類：HORIBA堀場流量計
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時間：2023-11-28 9:46:29
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  • 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
  • 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
  • LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統，與傳統配件相比，可顯著減小尺寸
  • 日常維護時輕松更換部件
  • 脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統，包括注入和烘烤應用
  • 安全標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志
  • 安全改善：多樣化的監(jiān)視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統出現故障，該功能將被啟動
  • 可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
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